[发明专利]一种高稳定性薄膜监控方法及镀膜装置在审
| 申请号： | 202110188380.6 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN112553589A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 鲍刚华;林兆文 | 申请（专利权）人： | 上海米蜂激光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/30;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 李思琼;冯振华 |
| 地址： | 200136 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高稳定性薄膜监控方法及镀膜装置，该方法包括：在镀膜机伞架上的至少三点位置设置膜厚监控系统，得到至少三个瞬时膜厚数据；将该至少三个瞬时膜厚数据代入膜厚分布公式中，求得材料蒸发特性参数n；通过监控该材料蒸发特性参数n值的变化，对薄膜厚度进行监控并实时修正。本发明能够在薄膜批量生产过程中，得到均匀性良好、重复性高，稳定性好的光学薄膜，有效提高高精度镀膜的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定性 薄膜 监控 方法 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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