[发明专利]一种高品质因数声表面波谐振器在审
| 申请号： | 202110187466.7 | 申请日： | 2021-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN112968687A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 董树荣;张季恺;付从艺;轩伟鹏;陈金凯;金浩;骆季奎 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 贾玉霞 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高品质因数声表面波谐振器，该谐振器为单端口谐振器，该谐振器包括衬底层、设置在衬底层上的压电基底、设置在压电基底上的金属电极层；金属电极层包括叉指电极、母线和反射栅，反射栅对称布置在叉指电极的两侧，母线与叉指电极连接；沿着声表面波谐振器的主传播方向，反射栅的栅条为长度递增的直线段，或者，反射栅的栅条包括中部的竖直直线段和两端向叉指电极方向弯折的弯折段，使得单侧的反射栅整体呈扇形，竖直直线段的长度不小于叉指电极的孔径。本发明利用扇形反射栅，并同时采用栅形母线，将由中间叉指电极向声表面波主传播方向以外方向的声表面波反射回去，减少能量损失，提高品质因数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质因数 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
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