[发明专利]一种高品质因数声表面波谐振器

权利要求书

1.一种高品质因数声表面波谐振器，其特征在于，该谐振器为单端口谐振器，该谐振器包括：

衬底层；

设置在衬底层上的压电基底；

设置在所述压电基底上的金属电极层；

所述的金属电极层包括叉指电极、母线和反射栅，所述反射栅对称布置在所述叉指电极的两侧，所述母线与叉指电极连接。

沿着声表面波谐振器的主传播方向，所述反射栅的栅条为长度递增的直线段，或者，所述反射栅的栅条包括中部的竖直直线段和两端向叉指电极方向弯折的弯折段，使得单侧的反射栅整体呈扇形，所述竖直直线段的长度不小于所述叉指电极的孔径，所述叉指电极向声表面波主传播方向以外方向的声表面波被所述反射栅反射回去。

2.根据权利要求1所述的高品质因数声表面波谐振器，其特征在于，所述反射栅的栅条的两端的弯折为直线弯折或弧形弯折。

3.根据权利要求1或2所述的高品质因数声表面波谐振器，其特征在于，所述母线为栅形母线，且所述母线的栅条方向垂直于所述叉指电极的方向，从而收集垂直于主传播方向的声表面波能量，将这些能量重新汇入叉指电极。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的高品质因数声表面波谐振器，其特征在于，所述反射栅的栅条之间的间距与所述叉指电极的电极间距相等，反射栅的栅条的宽度与叉指电极的宽度相等。

5.根据根据权利要求1～3中任意一项所述的高品质因数声表面波谐振器，其特征在于，所述反射栅的栅条数目为1～500，所述母线的栅条数目为1～500。