[发明专利]一种中空二维压电惯性冲击驱动平台有效
| 申请号： | 202110186867.0 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112994513B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 潘成亮;胡民港;夏豪杰;李维诗;于连栋;石超;丰安辉;吴家豪 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00;H02N2/04 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种中空二维压电惯性冲击驱动平台，包括方形平台、封装盖板和固定底座，方形平台由方形外框、方形内框、位移放大机构和压电驱动器组成，封装盖板设置柔性机构并安装在方形平台的上表面，方形平台通过方形外框的四角部位与下表面的固定底座摩擦耦合，在压电驱动器锯齿波激励电压下实现惯性冲击运动。本发明采用中心镂空的结构设计提供观测孔径，采用摩擦耦合调整机构保证冲击驱动的稳定性，可进一步提高多自由度跨尺度精密驱动定位在SEM等显微成像系统中的应用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中空 二维 压电 惯性 冲击 驱动 平台 | ||
【主权项】：
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