[发明专利]一种超高真空条件下样品转移装置在审
| 申请号： | 202110183964.4 | 申请日： | 2021-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN114904592A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 徐煜;周兴江;戎洪涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | B01L1/02 | 分类号： | B01L1/02;B01L9/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空样品转移装置，其包括：腔体状的主体，其包括第一通孔部和第二通孔部；样品台，其被布置在所述主体的内部；所述样品台包括至少两个样品槽，所述至少两个样品槽用于容纳相同或不同的样品架；真空阀门，其通过所述第一通孔部将所述主体与外部真空装置气密地连通；操作装置，其通过所述第二通孔部气密地连接到所述主体，其中，所述操作装置用于对所述外部真空装置的样品架及其中的样品进行移动；以及连接到主体的真空泵，其用于对所述主体内部抽真空。根据本发明的样品转移装置能够使样品在将多种相互不兼容的超高真空设备中便利地转移并避免污染，提升了超高真空实验技术的综合程度和可扩展能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 条件下 样品 转移 装置 | ||
【主权项】：
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