[发明专利]单晶炉磁场强度测量装置和方法在审
| 申请号： | 202110183959.3 | 申请日： | 2021-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN112904245A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 张千千;张鹏举;陈凡 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/07 | 分类号： | G01R33/07 |
| 代理公司： | 北京远创理想知识产权代理事务所(普通合伙) 11513 | 代理人： | 李蔚君 |
| 地址： | 710032 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉磁场强度测量装置和方法，所述单晶炉磁场强度测量装置，包括测量支架、位移传感器、安装座、位置调整机构，探杆上设置有霍尔传感器，所述位置调整机构能够带动所述探杆围绕Z轴旋转、沿着Z轴移动和沿着X轴移动，所述Z轴与单晶炉超导磁场的中心轴平行或重合，所述X轴垂直相交于Z轴，所述位移传感器能够检测所述探杆围绕Z轴的旋转角度θ、沿着Z轴移动量s1和沿着X轴的移动量s2，所述霍尔传感器能够检测(θ，s1，s2)位置的磁场强度h。本发明提供的单晶炉磁场强度测量装置和方法可以方便地连续测量在空间中各点的磁场强度，具有定位准确、测量精度高、便携性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 磁场强度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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