[发明专利]包括光接收装置的基板处理设备和光接收装置的校准方法在审
| 申请号： | 202110182963.8 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN113257655A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 西胁和浩 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/52;C23C16/50;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种基板处理设备的示例包括：配置为包含平台的腔室；配置为在所述腔室内接收光的光接收装置；以及基板输送设备，其包括轴和配置为随该轴的旋转而旋转的旋转臂，并且配置为向所述光接收装置提供具有不同光量的多个光束。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 接收 装置 处理 设备 校准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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