[发明专利]基于小型化平面电极的电化学角加速度传感器有效
| 申请号： | 202110181193.5 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112986619B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 王军波;刘博文;陈德勇;许超;梁天;齐文杰;佘旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01V1/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于小型化平面电极的电化学角加速度传感器，该电化学角加速度传感器包括环形流道，其内部设有电解质溶液；平面电极，设置在环形流道上；以及电源，与平面电极连接。本发明公开两种基于平面电极的传感器封装方法和利用其的电化学角加速度传感器，不仅解决了电解液密封和电极引线的问题，保证了器件的长期稳定性，且由于采用了小型化的平面电极，使得大规模制造电化学角加速度传感器成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 小型化 平面 电极 电化学 角加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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