[发明专利]增强内部流场的基板容器在审
| 申请号： | 202110178628.0 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN114249029A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 邱铭乾;沈恩年;潘咏晋;林志铭;刘维虔;钟承恩;李柏廷;江俊谚 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/30 | 分类号： | B65D85/30;B65D25/02;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 刘云贵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种增强内部流场的基板容器，包含盒体、至少一个偏位充气机构及至少一个气体扩散机构，偏位充气机构设置于盒体的内部容置空间之外，偏位充气机构具有平行底板的气室，气体扩散机构包括底座、隔离墙及至少一个扩散构件，底座罩覆于气室的出气口而形成副气室，隔离墙垂直底板延伸而形成垂直的第一气体通道，第一气体通道连通副气室，扩散构件与隔离墙夹合形成第二气体通道，隔离墙具有至少一个孔隙以连通第一气体通道及第二气体通道。本发明改善了基板容器的流场仅限于底部的问题，增强了基板容器的内部流场，维护基板质量。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 内部 容器 | ||
【主权项】：
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