[发明专利]尤其用于钟表的具有柔性条带的一件式硅装置的制造方法有效
| 申请号： | 202110178546.6 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN113253594B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | P·屈赞;A·甘德尔曼 | 申请（专利权）人： | 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G04D3/00 | 分类号： | G04D3/00;G04F8/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 高美艳;吴鹏 |
| 地址： | 瑞士勒*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种尤其用于钟表的具有柔性条带(2,3)的一件式硅装置，例如具有交叉的条带的枢轴，并涉及用于制造该装置(1)的方法。所述方法包括以下步骤：‑由SOI型晶片形成(21)一件式硅装置(1)的坯件，所述装置(1)包括两个柔性条带(2,3)，每个柔性条带形成于所述SOI型晶片的不同层中，所述条带(2,3)布置在两个不同的基本上平行的平面中，所述条带(2,3)通过间隙(7)分隔开，‑在至少一个所述条带(2,3)的与所述间隙相邻的表面上生长第一二氧化硅层，该第一二氧化硅层由一个或更多个所述柔性条带(2,3)的第一硅子层形成，‑去除第一二氧化硅层，以增加两个柔性条带(2,3)之间的间隙(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 尤其 用于 钟表 具有 柔性 条带 一件 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司，未经尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110178546.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：能量存储系统保护系统
- 下一篇：电镀方法
