[发明专利]一种吸附效果好的芯片生产设备在审
| 申请号： | 202110175843.5 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113020003A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 虞伟明 | 申请（专利权）人： | 虞伟明 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种吸附效果好的芯片生产设备，包括连接管和吸嘴，所述连接管竖向设置，所述吸嘴安装在连接管的底端，所述连接管内设有真空装置，所述连接管上设有两个清洁机构和两个辅助机构，所述清洁机构以连接管的轴线为中心周向均匀分布，所述辅助机构与清洁机构一一对应，所述清洁机构包括移动杆、清洁板、电磁铁和两个复位组件，所述复位组件包括导杆、第一弹簧和导孔，所述辅助机构位于清洁板和吸嘴之间，所述辅助机构包括传动组件和执行组件，该吸附效果好的芯片生产设备通过清洁机构实现了清洁基板上杂质的功能，不仅如此，还通过辅助机构提高了吸嘴吸附晶片的稳定性，防止晶片脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 效果 芯片 生产 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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