[发明专利]一种Mini LED晶圆外观缺陷检测系统及方法在审
| 申请号： | 202110174823.6 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112924472A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 苏达顺;王巧彬;周波;李国晓;邹伟金 | 申请（专利权）人： | 惠州高视科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陈文福 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市惠澳大道惠南高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种Mini LED晶圆外观缺陷光学检测系统及方法，所述检测系统包括大靶面高分辨率相机、高倍高数值孔径镜头、光源、位移载物台、计算机图像处理系统等；其系统的分辨率可小于1μm，对Mini LED的表面缺陷可实现清晰成像分辨；可以在一张图片对超过1000颗晶粒进行同步分析检测，相比于传统的显微镜人工目检的方式有50倍的效率提升，实现了高精度高效率自动化的光学检测。所述检测系统既能满足高精度的检测要求，又能进行高效率扫描拍摄成像，适合用于Mini LED表面缺陷检测。所述检测系统采用机器视觉方式代替人工目检对缺陷自动判定及分类，可实现大批量自动化测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mini led 外观 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠州高视科技有限公司，未经惠州高视科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110174823.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高透湿超透气微孔膜、高透湿超透气微孔膜复合材料
- 下一篇：一种语音控制美妆镜
