[发明专利]一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置有效
| 申请号： | 202110173405.5 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112974083B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;童建 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B16/20 | 分类号： | B05B16/20;B05B16/40;B05B13/02 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，包括密封设备，所述密封设备主要由支撑腿、箱体、密封盖组成，所述箱体底部通过螺栓连接有所述支撑腿，所述箱体顶部盖合有所述密封盖，还包括旋转支撑机构、密封板、分割机构。本发明可以通过气缸带动连接架下降，连接架带动密封罩下降，使得密封罩扣合在密封板上，实现了对晶圆清洗、干燥、喷涂分别位于不同的且较小的密闭空间内，可以在干燥晶圆时，干燥室内部空间的湿度较小，有益于提高干燥效率，还可以通过驱动电机在第二链条的作用下带动传动管转动，通过传动管在第一链条的作用下带动四个吸盘放料台转动，进而实现了对不同工位的晶圆清洗、干燥、喷涂干燥的工作，进一步提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 加工 表面 清洗 涂胶 装置 | ||
【主权项】：
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