[发明专利]一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置

权利要求书

1.一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，包括密封设备(1)，所述密封设备(1)主要由支撑腿(101)、箱体(102)、密封盖(103)组成，所述箱体(102)底部通过螺栓连接有所述支撑腿(101)，所述箱体(102)顶部盖合有所述密封盖(103)，所述密封盖(103)顶部设置有清洗设备本体(105)、干燥设备本体A(106)、涂胶设备本体(107)、干燥设备本体B(108)，其特征在于：还包括旋转支撑机构(2)、密封板(3)、分割机构(4)，所述旋转支撑机构(2)包括调节电机(201)、转动架(202)、吸盘放料台(203)、传动管(204)、第一链条(205)、第二链条(206)、驱动电机(207)、连接杆(208)，所述调节电机(201)通过螺栓连接在所述箱体(102)底部中央，所述调节电机(201)的输出端伸进所述箱体(102)内部，且通过联轴器连接有所述连接杆(208)，所述连接杆(208)上端键连接有所述转动架(202)，所述转动架(202)为行星架，且设有四个支板，所述转动架(202)顶部设置有所述密封板(3)，所述吸盘放料台(203)下端穿过所述密封板(3)和该支板，并延伸至该支板下方，且连通有负压泵，所述转动架(202)底部中央还通过轴承连接有所述传动管(204)，且所述传动管(204)还套设在所述连接杆(208)外侧，所述传动管(204)下端与所述箱体(102)内部底端通过轴承连接，所述传动管(204)与所述吸盘放料台(203)之间通过所述第一链条(205)传动，所述传动管(204)和所述驱动电机(207)之间通过所述第二链条(206)传动，所述驱动电机(207)通过螺栓连接在所述箱体(102)内部，所述分割机构(4)包括气缸(401)、连接架(402)、密封罩(403)、连接头(404)，所述气缸(401)通过螺栓连接在所述密封盖(103)顶部中央，所述气缸(401)的输出端伸进所述箱体(102)内部，且通过螺栓连接有所述连接架(402)，所述连接架(402)底部外侧通过螺栓连接有所述密封罩(403)，所述密封罩(403)顶部中央通过螺栓连接有所述连接头(404)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，其特征在于：所述支撑腿(101)外侧通过合页连接有四个维修门(104)，且所述维修门(104)外侧远离合页的一端设置有把手。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，其特征在于：所述维修门(104)和所述密封罩(403)的材料为透明材料。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，其特征在于：所述第一链条(205)内侧与所述吸盘放料台(203)通过链轮啮合连接，所述第一链条(205)外侧与所述传动管(204)通过链轮啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，其特征在于：四个所述连接头(404)分别与所述清洗设备本体(105)、所述干燥设备本体A(106)、所述涂胶设备本体(107)和所述干燥设备本体B(108)通过管道连通。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，其特征在于：所述干燥设备本体B(108)和所述干燥设备本体A(106)的进风端处通过喉箍连接有滤清器。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，其特征在于：所述密封板(3)顶部开设有环形的排液槽(301)，且所述排液槽(301)靠近密封板(3)边缘处设置有排液口，所述排液槽(301)的外径与所述密封罩(403)底边缘的内径相同。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，其特征在于：所述箱体(102)内部底端还设置有收集机构(5)。