[发明专利]一种间接接触式石墨烯压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110172583.6 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112964416B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 薛伟;李峰平;郑蓓蓉;王权;李中学 | 申请（专利权）人： | 温州大学激光与光电智能制造研究院 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;G01L9/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京智造力知识产权代理有限公司 32382 | 代理人： | 田玉菲 |
| 地址： | 325000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种间接接触式石墨烯压力传感器及其制备方法，主要包括基底、绝缘层、密封腔、石墨烯、电极、LCP压力接触膜。本发明采用石墨烯间接接触方式：LCP压力接触膜作为直接接触压力元件，将压力转化为膜片变形；膜片变形导致腔体气体产生微小作用力通过孔道作用在四个悬浮石墨烯片上；石墨烯采用电桥法相连接入到外部电路实现压力检测。该压力传感器利用柔性材料作为直接接触元件，不仅有效实现压力转换，而且避免了感应材料石墨烯与外界直接接触，保证了石墨烯优异性质。该压力传感器制备方法简单易行，可广泛应用于气压检测、生物领域的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间接 接触 石墨 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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