[发明专利]花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置及检定方法有效
| 申请号： | 202110168348.1 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN112902908B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 隋占疆;张潇飞;张松;彭辉;刘伦 | 申请（专利权）人： | 天津大学;海克斯康制造智能技术（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01B7/34;G01B21/08;G01B7/06 |
| 代理公司： | 青岛联智专利商标事务所有限公司 37101 | 代理人： | 侯艳艳 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种花岗石工作台气浮导轨表面精检定装置及检定方法，包括标定平台组件、气膜厚度检测工装，气膜厚度检测工装包括负载组件、固定支撑机构和气浮支撑机构，负载组件与固定支撑机构铰接，气浮支撑机构包括气浮块和支撑组件，气浮块上设有进气嘴、水平下表面和出气孔，支撑组件位于气浮块上方并与气浮块连接为一体，负载组件水平支撑在支撑组件上。本发明相比传统平面度和粗糙度触针接触式测量方法，避免了由于触针端头直径的限制而存在的测量范围有限且存在随机误差的问题，同时也避免了触针划伤气浮导轨面的可能，是一种直接模拟实际使用状况的终端检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 花岗石 工作台 导轨 表面 精度 检定 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学;海克斯康制造智能技术（青岛）有限公司，未经天津大学;海克斯康制造智能技术（青岛）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110168348.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
