[发明专利]花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置及检定方法

权利要求书

1.一种花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，包括：

标定平台组件，其包括平台本体，所述平台本体的上表面设有用于标定的标准区域，所述标准区域具有标准平面度和粗糙度；

气膜厚度检测工装，其包括负载组件、固定支撑机构和气浮支撑机构，所述负载组件与所述固定支撑机构铰接，所述气浮支撑机构包括气浮块和支撑组件，所述气浮块上设有进气嘴、水平下表面和位于所述水平下表面上的出气孔，所述支撑组件位于所述气浮块上方并与所述气浮块连接为一体，所述负载组件水平支撑在所述支撑组件上；

采用所述花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置的检定方法，包括如下步骤：

1）将所述气浮支撑机构置于所述平台本体上，使所述气浮块的水平下表面与所述平台本体的标准区域接触，保证所述负载组件水平；

2）调整所述负载组件的负载大小，直至其对所述气浮支撑机构产生的压力大小达到标定压力；

3）向所述气浮块通气，直至所述气浮块与所述标准区域之间的气膜厚度达到标定厚度，记录此时对应的通气气压大小为标定气压大小；

4）将所述气浮支撑机构置于气浮导轨上，使所述气浮块的水平下表面与所述气浮导轨的上表面接触，保证所述负载组件水平；

5）调整所述负载组件的负载大小，使其对所述气浮支撑机构产生的压力大小达到所述标定压力；

6）向所述气浮块通气，通气气压大小为所述标定气压大小，测量此时所述气浮块与所述气浮导轨的上表面之间的气膜厚度；

7）对比步骤6）中测得的气膜厚度与所述标定厚度，若差值在±a内，则所述气浮导轨表面精度满足要求，若差值超出±a，则所述气浮导轨表面精度不满足要求。

2.根据权利要求1所述的花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，

所述支撑组件包括第一支撑座、第一支撑杆和摆动限位部件，所述第一支撑座水平设置，所述第一支撑杆竖直设置，其上端固连于所述第一支撑座，下端设有球头，所述气浮块的上表面上设有与所述球头配合的球窝，所述摆动限位部件固定设置且具有贯通孔，所述第一支撑杆插设在所述贯通孔内且与所述贯通孔间隙配合。

3.根据权利要求2所述的花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，

所述摆动限位部件以其底端固设在所述气浮块的上表面上。

4.根据权利要求2所述的花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，

所述支撑组件还包括水平设置的第二支撑座和多根竖向设置的第二支撑杆，所述第二支撑杆的支撑高度可调，其上端固连于所述第二支撑座，下端固连于所述第一支撑座，所述负载组件水平支撑在所述第二支撑座上。

5.根据权利要求4所述的花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，

所述第二支撑座与所述负载组件固定连接。

6.根据权利要求1所述的花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，

所述固定支撑机构包括安装板和固设在所述安装板上的轴承支架，所述负载组件的底部固连有旋转支架，所述旋转支架与所述轴承支架通过轴承铰接。

7.根据权利要求1所述的花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，

所述气膜厚度检测工装还包括调节底座，用于设在花岗石工作台台面上并与所述固定支撑机构连接以改变所述固定支撑机构在所述花岗石工作台上的位置。

8.根据权利要求1所述的花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，

所述气膜厚度检测工装还包括测距装置，用于测量气膜厚度。

9.根据权利要求1所述的花岗石工作台气浮导轨表面精度检定装置，其特征在于，

所述标定平台组件还包括测力装置，用于测量所述负载组件对所述气浮支撑机构产生的压力大小。