[发明专利]带有沟槽结构的体声波谐振器有效
| 申请号： | 202110160231.9 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112968685B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;罗天成;刘炎;邹杨;周杰;谢英;徐沁文;高超 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种带有沟槽结构的体声波谐振器，具体指一种带有阵列式沟槽结构，高谐振频率的体声波谐振器结构。该谐振器结构包括底电极、压电层、压电层中的沟槽结构和顶电极。该结构能够减小谐振器中压电层的等效厚度，有效地提高谐振器的谐振频率，能满足5G/6G通讯的实际需求。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 沟槽 结构 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉敏声新技术有限公司，未经武汉敏声新技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110160231.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
