[发明专利]采用曲线光波导连接的铌酸锂薄膜双Y分支光波导调制器有效
| 申请号： | 202110158375.0 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112965270B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 田自君;郑帅峰;陈诚;文利 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03;G01C19/72 |
| 代理公司： | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用曲线光波导连接的铌酸锂薄膜双Y分支光波导调制器，包括双Y分支光波导相位调制器芯片，所述双Y分支光波导相位调制器芯片包括衬底,所述衬底上依次设有二氧化硅层、光波导层和保护层，所述保护层上设有调制电极；所述光波导层包括铌酸锂薄膜层和双Y分支光波导结构的铌酸锂脊形光波导，连接两个Y分支光波导的过渡光波导为曲线波导。本发明中，过渡光波导采用曲线结构，有效消除了辐射模在光路中耦合形成的串扰和噪声问题；另外，本发明通过改变铌酸锂薄膜光波导芯片的结构，增大了铌酸锂脊形光波导与保护层的折射率差，进而增强了对光的束缚能力，使光波导的弯曲半径大大减小，实现了双Y分支光波导调制器的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 曲线 波导 连接 铌酸锂 薄膜 分支 调制器 | ||
【主权项】：
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