[发明专利]一种太阳能电池制造工艺及链式镀膜设备

摘要

本发明公开了一种太阳能电池制造工艺，包括如下步骤：S1.清洗、制绒；S2.硼扩散；S3.清洗去除BSG层并进行背面抛光；S4.背面沉积隧穿氧化层+掺杂非晶硅层；S5.正面制备氧化铝+氮化硅叠层；S6.退火；S7.背面沉积氮化硅减反保护层；S8.丝网印刷、烧结测试、分选。本发明首先将正面沉积氧化铝、氮化硅薄膜工序调整至退火工序之前，利用退火时的长时间高温充分激发氧化铝、氮化硅的钝化能力，提升电池效率；其次利用氧化铝、氮化硅薄膜预先把硅片正表面遮盖起来，以避免在退火时正表面引入杂质而影响电池性能，同时还可省去退火后的清洗工序，将工艺流程从现有技术的9步简化至8步，从而有效提高生产效率。