[发明专利]一种一体成型管靶的生产工艺有效
| 申请号： | 202110156015.7 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112981342B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 宋海涛;宋爱谋 | 申请（专利权）人： | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F5/00;B22F3/02;B22F3/15;B22F3/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请涉及靶材制造技术的领域，具体公开了一种一体成型管靶的生产工艺，包括以下步骤：装填：将铌粉装填进入包套内，将包套内抽至真空；热等静压：将装有铌粉的包套放入热等静压炉内进行热等静压，热等静压过程中热等静压炉内保持持续抽气；机加工：热等静压后的包套进行机加工得到最终管靶。本申请的制备方法具有减少靶材氧化，从而提高靶管纯度优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一体 成型 生产工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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