[发明专利]一种高熵金属玻璃防护涂层及制备方法有效
| 申请号： | 202110151820.0 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112813399B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 曹国钦;姚航航;胡俊华;邵国胜;田佳佳;裴书博 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;G21C3/07 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 王红培 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高熵金属玻璃防护涂层及制备方法，将锆基多元素靶材切割组成溅射靶材，铝单独作为一个溅射靶材，将单晶硅分别贴在溅射靶材和铝靶材上，通过控制不同靶材的暴露面积，进行高熵合金涂层成分的精细调控。涂层制备使用高真空单室三靶磁控溅射系统，该技术制备的涂层成分均匀、结构致密、膜基结合力好。此外，本发明制备的Zr‑Fe‑Nb‑Cr‑Al‑Si‑Mo‑Ti‑Ta（五种或六种组元混合）高熵金属玻璃防护涂层具有优异的抗氧化性及良好的耐腐蚀性能，可应用于反应堆元件的包壳材料及其他燃料组件结构部件，提高使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 玻璃 防护 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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