[发明专利]磨削装置和磨削方法在审
| 申请号： | 202110136792.5 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN113211241A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 须藤雄二郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24B41/02;B24B41/04;B24B51/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供磨削装置和磨削方法，即使对卡盘工作台局部地施加较大的磨削载荷也能够防止被加工物的厚度偏差恶化。磨削装置具有：卡盘工作台，其保持被加工物；板状的工作台基座，其支承卡盘工作台；磨削单元，其能够利用安装于主轴的一端部的磨削磨轮对被加工物进行磨削；载荷检测单元，其检测从磨削单元施加于工作台基座的载荷；倾斜调整单元，其支承工作台基座，能够调整工作台基座的倾斜；存储部，其存储施加于工作台基座的载荷与载荷所引起的工作台基座的倾斜变化量之间的相关关系；和控制部，其根据载荷检测单元所检测的载荷以及该相关关系对倾斜调整单元进行控制，调整工作台基座的倾斜以便抵消与所检测的载荷对应的工作台基座的倾斜变化量。 | ||
| 搜索关键词： | 磨削 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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