[发明专利]一种热盘温度调整方法及一种热盘装置有效
| 申请号： | 202110134821.4 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112947634B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 左文娟;张旭;尤扬智;曾鸿儒 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/22 | 分类号： | G05D23/22;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 潘颖 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热盘温度调整方法，包括：获取加热装置的温度值T1；获取腔室顶部的温度值T2；控制系统根据线宽与温度值T1和温度值T2的关系来调节所述加热装置，以获取目标线宽。本发明中的加热装置的温度值T1与线宽之间存在线性关系，腔室顶部的温度值T2与线宽之间也存在线性关系。控制系统根据两个线性关系来调节加热装置。本发明根据加热装置的温度值T1和腔室顶部的温度值T2来对热盘进行双向温度补偿。双向温度补偿相对于单向温度补偿，提高了对热盘温度调节的准确度，从而能够获取目标线宽。本发明还公开了一种热盘装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 调整 方法 装置 | ||
【主权项】：
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