[发明专利]一种微小泄漏的石墨密封泄漏测量方法及装置

摘要

本发明公开一种微小泄漏的石墨密封泄漏测量方法及装置，涉及密封泄漏测量技术领域；通过测量泄漏气体收集腔的一定时间内的压力变化间接测量石墨端面密封结构的泄漏气体质量流量；采用气压调节系统为工况憋压腔直接提供符合设置工况的气体，可将高压工况腔的气体压力与气压调节系统提供的气体压力视为完全相同；在两次气压采集间隔内，根据压差传感器实时测得的高压工况腔与低压憋压腔之间的气体压差，通过控制程序，将指令反馈给气压调节系统，让其自动同步提升供给高压工况腔的气体压力，使得两腔之间的气体压差在很小波动的情况下保持稳定。