[发明专利]可用于kHZ交流线性滤波的微型超级电容器的制备方法在审
| 申请号： | 202110123881.6 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112951622A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 宁静;冯欣;王东;张进成;马佩军;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01G11/84 | 分类号： | H01G11/84;H01G11/86;H01G11/28 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可用于kHZ交流线性滤波的微型超级电容器的制备方法，主要解决传统铝电解电容体积大和特征频率小的问题。其实现方案是：1)通过光刻在目标衬底上做出图案化光刻胶‑目标衬底；2)利用电子束蒸发设备在该图案化衬底上沉积金属集流体，形成金属集流体/光刻胶‑目标衬底结构，并利用等离子氧设备对其进行清洁；3)在清洁后金属集流体表面制作电极材料涂层并去除光刻胶，形成电极材料‑金属集流体‑目标衬底结构；4)在电极材料表面滴涂电解质，引出正负电极引线并用PDMS封装，完成微型超级电容器器件的制作。本发明制作的器件体积及电极尺寸小，特征频率可达到kHz以上，可用于微型整流电路的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 khz 交流 线性 滤波 微型 超级 电容器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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