[发明专利]一种基于遗传算法模型的数据分析方法及装置在审
| 申请号： | 202110117640.0 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112904821A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陆晶晶;魏峥颖;王艳生 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种基于遗传算法模型的数据分析方法及装置，该方法包括：获取预设时段内至少一个晶圆产品的输入数据；调用遗传算法模型对所述至少一个晶圆产品的输入数据进行特定方向的进化和预测分析，得到所述晶圆产品的输出数据，所述输出数据包括以下中的至少一项：所述晶圆产品的特征上限值、特征下限值、最优过货路径或者问题机台。通过实施本申请，能解决现有方案中存在的无法预估特征值的上限、耗时较长及精度不高等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 遗传 算法 模型 数据 分析 方法 装置 | ||
【主权项】：
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