[发明专利]一种利用常规四级质谱仪准确测量氢、氘、氦分压的方法有效

专利信息
申请号: 202110111092.0 申请日: 2021-01-27
公开(公告)号: CN112924522B 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 余耀伟;陈跃;曹斌;王俊儒;左桂忠;胡建生 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 张乾桢
地址: 230031 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提出一种利用常规四级质谱仪准确测量氢、氘、氦分压的方法,通过选择低(15.4‑24.5eV之间)和高(25.3eV)两种电离能,根据氢气、氘气和氦气三种气体的分子及原子电离阈值不同的特性,区分H2+及D+对质量数(AMU)2的离子流的贡献,以及D2+和He+对AMU4的离子流的贡献。在纯氢气、纯氘气和纯氦气的宽范围真空环境下进行四级质谱仪的标定,获得在选定的两种电离能下各种气体压强与AMU2和AMU4的离子流的对应关系。在后续四级质谱仪测量中,同时扫描选定的两种电离能条件下的AMU2和AMU4的离子流,通过分析计算,获得氢气、氘气和氦气的准确分压。
搜索关键词: 一种 利用 常规 质谱仪 准确 测量 氦分压 方法
【主权项】:
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