[发明专利]一种便于均匀接触溶液的硅片制绒装置

摘要

本发明公开了一种便于均匀接触溶液的硅片制绒装置，包括制绒箱、偏心轮、冲洗烘干箱和链式运输带，所述制绒箱内底部放置有制绒溶液槽，所述制绒溶液槽内设有振荡架，所述振荡架的前后两侧的左右端均安装有偏心轮，冲洗烘干箱设置在制绒箱右侧，所述链式运输带设置在制绒箱和冲洗烘干箱的上方。该便于均匀接触溶液的硅片制绒装置，设置有偏心轮和驱动电机，偏心轮安装在振荡架的前后端，横向的偏心轮之间通过传动转轴连接，再通过驱动电机带动转动，由于传动转轴的位置固定，所以偏心轮带动振荡架以及花篮往复的晃动，进而使得制绒溶液槽内的溶液晃动起来，使得硅晶片接触到的溶液浓度更加的均匀，提高绒面的均匀性。