[发明专利]一种基于网状阳极结构的小型化真空弧离子源在审
| 申请号： | 202110100921.5 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112928002A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中科石金（安徽）中子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/10 | 分类号： | H01J27/10;H01J27/08;H01J1/36 |
| 代理公司： | 合肥律通专利代理事务所(普通合伙) 34140 | 代理人： | 吴奇 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于网状阳极结构的小型化真空弧离子源，包含阴极、绝缘层、阳极、扩张杯和引出栅网，阴极和阳极或者阴极与触发单极之间通过绝缘层表面的高压闪络的方式产生阴极斑和初始等离子体，所述初始等离子体扩散实现阴阳极导通，产生高密度等离子体，在高密度梯度的作用下，所述高密度等离子体通过所述阳极孔和网状结构扩散到扩张杯中。本发明通过一个具有网状结构和阳极孔的阳极增大阴阳极之间的主弧放电效率，增大等离子体的扩散效率，进而提高离子的引出比例，同时本发明采用和阴极材料相同的金属或者合金材料，有效的降低了引出束流中杂质离子的比例，本发明结构简单紧凑，离子束流光学设计简单，加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 网状 阳极 结构 小型化 真空 离子源 | ||
【主权项】：
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