[发明专利]一种气相法制备微细粉的耐高温液体回流与出气结构在审

专利信息
申请号: 202110099337.2 申请日: 2021-01-25
公开(公告)号: CN112774228A 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 钟笔 申请(专利权)人: 钟笔
主分类号: B01D1/00 分类号: B01D1/00;B01D5/00
代理公司: 北京维澳专利代理有限公司 11252 代理人: 王立民;曾晨
地址: 315177 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种气相法制备微细粉的耐高温液体回流与出气结构,包括供液体回流与出气共用的通道,在通道的外侧依次设置有保温结构及外壳;所述通道的下端伸出于所述壳体插入蒸发器内部与坩埚蒸发气出口连接;在所述外壳的下端设置有下连接部与所述蒸发器外壳连接,外壳的上端设置有上连接部与后序装置连接。本技术方案通过对内部流通管道连接口设计,保温设计与温度控制,使高温蒸气及可能已液化或固化的粒子随着载流气可以顺利通过液体回流与出气共用管道,并与其他设备的内部管道连接输送到下一个结构中;在此管道内出现的所需制备材料的固态顺利融化为液态,或汇聚产生的液态,都可以顺利通过此管道回流进入高温蒸发器内的坩埚内。
搜索关键词: 一种 法制 微细 耐高温 液体 回流 出气 结构
【主权项】:
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