[发明专利]手性对称结构超表面圆偏振光检测元件及其制备方法在审
| 申请号： | 202110097917.8 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112881302A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 董延更;胡敬佩;张冲;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种手性对称结构超表面圆偏振光检测元件，包括透光基底和位于透光基底上的旋转对称介质结构层，所述的介质结构层由两个半圆柱构成的旋转对称结构阵列构成。本发明可以通过电子束曝光和显影技术以及离子束刻蚀等工艺流程制得。该元件在1.54μm具有很强的圆偏振二色性，达到94.3％，消光比大于45:1，偏振透过率大于95％，同时其结构简单，性能优异，易于制作，在光学传感、光学成像等领域具有很大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 手性 对称 结构 表面 偏振光 检测 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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