[发明专利]坩埚在审
申请号: | 202110095103.0 | 申请日: | 2021-01-25 |
公开(公告)号: | CN113930726A | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 郑真洙 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 李盛泉;习瑞恒 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及坩埚,坩埚可以包括:主体,储存沉积物质,并且包括第一槽;以及第一金属部件,紧固于所述第一槽,沿第一方向延伸,并且固定所述沉积物质。据此,坩埚包括固定固体状态的沉积物质的金属部件,从而可以使沉积物质完全熔化,并且可以相对缩短沉积物质的升温时间。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 | ||
【主权项】:
暂无信息
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