[发明专利]一种基于热电堆原理的压力传感器有效
| 申请号： | 202110093091.8 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112414609B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L11/00;G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器，包括感知压力的腔体薄膜、发热电阻、空气腔、热电堆、散热体和基板，感知压力的腔体薄膜位于基板上方，在腔体薄膜和基板之间有一薄的空气腔，散热体位于空气腔内的基板上表面，发热电阻位于腔体薄膜上表面的空气腔上方，发热电阻附近有一热电堆。当无外界压力时，给发热电阻施加电流激励，在发热电阻附近形成温度稳定分布，放置在发热电阻附近的热电堆感应这种温度变化并输出初始热电势。当外界压力增大时，腔体薄膜发生形变并与散热体接触形成散热通路，导致热电势越小，实现压力的测量。通过改变施加的电流激励大小实现对压力检测范围和灵敏度的调节，具有灵敏度高、测量范围大、设计灵活、结构简单等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 热电 原理 压力传感器 | ||
【主权项】：
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