[发明专利]多光束合束调节装置及调节方法在审
申请号: | 202110092740.2 | 申请日: | 2021-01-22 |
公开(公告)号: | CN112925064A | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 卢增雄;李璟;齐月静;王朋辉;折昌美 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G02B6/32 | 分类号: | G02B6/32;G01B11/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 孙蕾 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种多光束合束调节装置,所述调节装置包括基准光源、第一光源、第二光源、第三光源、第四光源、基准光源单模保偏光纤、第一单模保偏光纤、第二单模保偏光纤、第三单模保偏光纤、第四单模保偏光纤、基准光源单模保偏光纤准直器、第一光纤准直器、第二光纤准直器、第三光纤准直器、第四光纤准直器、第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、线性位移台、探测器以及计算机;本发明还提供了一种多光束合束调节方法。本发明可实现空间多束光姿态和位置的快速调整,光束重合度可达亚微米量级。 | ||
搜索关键词: | 光束 调节 装置 方法 | ||
【主权项】:
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