[发明专利]一种酸扩散抑制剂的制备方法及光刻胶组合物有效
| 申请号： | 202110089854.1 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112898170B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 余绍山;顾大公;许东升;方涛;陈伟琴;陈情丽;李珊珊;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C07C229/16 | 分类号： | C07C229/16;C07C229/18;C07C227/06;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明适用于光刻胶技术领域，提供了一种酸扩散抑制剂的制备方法及光刻胶组合物，通过一锅法制备酸扩散抑制剂，首先将甲基丙烯醇酐、烷基醇类、胺类物质和催化剂按一定摩尔比与反应溶剂混合得到混合物，所述甲基丙烯醇酐、烷基醇类、胺类物质和催化剂的摩尔比为1:2:(2～4):(0.01～0.1)；其次，将所述混合物加热至60～95℃进行反应，并反应8～12h；最后将得到的反应溶液用饱和氢氧化钠水溶液洗涤，分液后得到有机相浓缩物为所述酸扩散抑制剂。本发明提供的制备方法操作简单、收率大，降低了生产。成本，同时提供的光刻胶组合物的分辨率和线宽粗糙度高，改善光刻胶组合物的光刻性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 抑制剂 制备 方法 光刻 组合 | ||
【主权项】：
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