[发明专利]利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术在审
| 申请号： | 202110089120.3 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112921268A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 袁国梁;乔栓虎 | 申请（专利权）人： | 山东电盾科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/58;C23C14/35 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 耿霞 |
| 地址： | 255185 山东省淄博市淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及建筑材料技术领域，具体涉及一种利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术。所述的利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术，制备步骤为：利用磁控溅射法，在陶瓷板釉面依次形成氮化硅薄膜过渡层、铬镍膜导电层，退火得到电磁屏蔽陶瓷板。本发明提供一种利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术，制备出的电磁屏蔽陶瓷板有效屏蔽外界信号对设备影响，避免外界电场对仪器设备的影响，提高仪器设备测试精度，延长使用寿命,产品可广泛应用于医院、学校、地铁等公共场所。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 磁控溅射 法制 电磁 屏蔽 陶瓷 技术 | ||
【主权项】：
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