[发明专利]一种薄膜压力传感器有效
| 申请号： | 202110069731.1 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112924056B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 段晓东;张少邦;刘雷 | 申请（专利权）人： | 钛深科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;A61B5/03;A61B5/00 |
| 代理公司： | 江苏斐多律师事务所 32332 | 代理人： | 向妮 |
| 地址： | 518112 广东省深圳市龙岗区吉华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种薄膜压力传感器，所述薄膜压力传感器包括：电路层，所述电路层包括一个或多个传感元件；功能膜层；结合层；其中，所述电路层与所述功能膜层通过所述结合层贴合。本申请中，该薄膜压力传感器的电路层、结合层和功能膜层三者组合形成了一个电容，功能膜层在受到外界压力时，外界压力变化使上述功能膜层朝向电路层变形，功能膜层与电路层的传感元件接触，使得传感元件的电容值变化，进而通过标定电容值和外界压力值的对应关系来表示压力大小。外界压力消失时，功能膜层能够恢复原始状态，从而能够多次测量，并使得薄膜传感器易于进行压力检测且具有高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】：
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