[发明专利]一种大处理量微波等离子体反应腔

摘要

本发明公开了一种大处理量微波等离子体反应腔，属于等离子体技术领域，包括上圆柱耦合腔、下圆柱耦合腔、波导和石英管；上圆柱耦合腔固定连通在下圆柱耦合腔的上端；波导固定连通在下圆柱耦合腔的侧壁；石英管竖向贯穿上圆柱耦合腔和下圆柱耦合腔；下圆柱耦合腔的下端固定有与石英管对应的入口接头，入口接头具有均与石英管相连通的点火装置入口和进气孔。在满足圆柱中心聚集等离子体的同时，纵向增加了上圆柱耦合腔体，加长了等离子体作用距离，增加了微波作用的体积，大大提高了可处理气量，提升了等离子体工作的气量与稳定性，同时提高了微波能量利用率。