[发明专利]一种线聚焦彩色共焦三维表面高度测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种线聚焦彩色共焦三维表面高度测量装置及方法，涉及物体成像领域，包括线聚焦彩色共焦照明结构和线聚焦彩色共焦成像结构；线聚焦彩色共焦照明结构按照光传播方向的顺序排列的部件包括复色光源、聚焦透镜组、半反半透镜、狭缝、准直透镜组、色散成像透镜组；线聚焦彩色共焦成像光路包括与照明结构共用的色散成像透镜组、准直透镜组、狭缝、半反半透镜，以及光谱相机、图像处理单元。该线聚焦彩色共焦测量装置结构简单，照明与成像光路共用狭缝，因而工程造价低；辅以扫描运动装置能够连续不停的对被测量物体不同表面位置的高度进行测量，快速完成大尺寸三维表面形貌测量。