[发明专利]具有光开关作用的多段光放大耦合器有效
申请号: | 202110039320.8 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN112886392B | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 祝宁华;徐长达;刘泽秋;袁海庆 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/50 | 分类号: | H01S5/50;H01S5/22;G02B6/12;G02B6/35 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开提供一种具有光开关作用的多段光放大耦合器,包括:衬底层;下限制层,设置于所述衬底层上;下波导层,设置于所述下限制层上;有源层,设置于所述下波导层上,用于产生光增益;上波导层,设置于所述有源层上;上限制层,设置于所述上波导层上,所述上限制层制备有脊波导组;绝缘层,设置于所述上限制层上及所述脊波导组的侧壁;以及欧姆接触层,设置于所述脊波导组上;其中,所述绝缘层和欧姆接触层的表面设置有多段分立的P面电极,进行设定电流的注入后,形成具有输入放大器段、耦合放大器段、以及输出放大器段的光放大耦合器。 | ||
搜索关键词: | 有光 开关 作用 多段光 放大 耦合器 | ||
【主权项】:
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