[发明专利]谐振压力传感器有效
| 申请号： | 202110024926.4 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN113188690B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 岩井滋人;汤本淳志;野吕诚;吉田隆司 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体施加的静压导致的在基底中的应变来检测谐振频率的变化；以及处理器。压力接收流体夹在壳体固定部与基底之间的间隙中并包围基底。处理器基于检测到的谐振频率的变化来测量静压。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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