[发明专利]一种石英晶体微天平传感器、制备方法及其应用有效
申请号: | 202110020282.1 | 申请日: | 2021-01-07 |
公开(公告)号: | CN112858471B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 司士辉;张友干 | 申请(专利权)人: | 浙江诺水科技发展有限公司 |
主分类号: | G01N29/02 | 分类号: | G01N29/02;G01N29/036 |
代理公司: | 杭州创智卓英知识产权代理事务所(普通合伙) 33324 | 代理人: | 侯震东 |
地址: | 311100 浙江省杭州市余杭区五常街道文*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明涉及一种石英晶体微天平传感器、制备方法及其应用,该石英晶体微天平传感器包括:晶振,所述晶振的电极表面修饰有自清洁涂层,且所述自清洁涂层包括ZnO/TiO |
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搜索关键词: | 一种 石英 晶体 天平 传感器 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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