[发明专利]一种石英晶体微天平传感器、制备方法及其应用

权利要求书

1.一种石英晶体微天平传感器的制备方法，其特征在于，所述石英晶体微天平传感器包括晶振；所述制备方法包括：

步骤一、称取相同物质的量的Zn(CH₃COO)₂·2H₂O和HO(CH₂)₂NH₂并分别溶于等量的C₄H₁₀O₂中，搅拌均匀，制得HO(CH₂)₂NH₂溶液与Zn(CH₃COO)₂·2H₂O溶液；

步骤二、将步骤一中制得的Zn(CH₃COO)₂·2H₂O溶液缓慢加入至HO(CH₂)₂NH₂溶液中，搅拌均匀，制得ZnO凝胶；之后加入聚乙二醇，制得ZnO溶液，静态老化待用；

步骤三、将晶振的电极浸入至步骤二中制得的ZnO溶液中并取出，重复2-3次，干燥，退火，制得涂覆有ZnO种子的电极；

步骤四、配置ZnNO₃、(CH₂)₆N₄、β-环糊精的混合溶液，将涂覆有ZnO种子的电极浸入混合溶液中，制得涂覆有ZnO纳米复合膜的电极；

步骤五、将二氧化钛P25粉体溶解于去离子水中，超声分散处理，离心去除不溶性的颗粒物，制得含二氧化钛P25的悬浮液；

步骤六、将步骤四中制得的涂覆有ZnO纳米复合膜的电极浸入步骤五所制得的悬浮液中，室温干燥，制得修饰有ZnO/TiO₂纳米复合膜的电极。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤一包括：

称取0.05～0.1molZn(CH₃COO)₂·2H₂O与0.05～0.1molHO(CH₂)₂NH₂并分别溶于50ulC₄H₁₀O₂中，并搅拌均匀，制得HO(CH₂)₂NH₂溶液与Zn(CH₃COO)₂·2H₂O溶液。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤二包括：将步骤一中制得的Zn(CH₃COO)₂·2H₂O溶液缓慢加入至HO(CH₂)₂NH₂溶液中，搅拌均匀，制得ZnO凝胶；之后加入0.3～0.6g聚乙二醇-400，制得ZnO溶液，静态老化待用。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤三包括：将晶振的电极浸入至步骤二中制得的ZnO溶液中并取出，重复2-3次，干燥；之后在220～250℃的温度下退火0.5～1.5h，再在450～480℃的温度下退火0.5～1.5h，制得涂覆有ZnO种子的电极。

5.如权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，所述步骤四包括：配置0.025～0.05mol/L ZnNO₃、0.025～0.05mol/L(CH₂)₆N₄、2～4g/Lβ-环糊精并混合得到混合溶液，将涂覆有ZnO种子的电极浸入混合溶液中，制得涂覆有ZnO纳米复合膜的电极。