[发明专利]一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备有效

专利信息
申请号: 202110015971.3 申请日: 2021-01-07
公开(公告)号: CN112827754B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 王雄;陈立国;朱涛;薛立伟;许晓斌;贾玉蝶;王南天 申请(专利权)人: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C11/10;F16B11/00
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 王丹
地址: 621900 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备,所述X轴底座固定在机架底板顶部,所述X轴导轨和X轴滑块固定在X轴底座上,所述X轴滑块的顶部与Y轴底座的底部固定连接;所述视觉定位模块包括上相机安装板、上视觉相机、上光源、下相机安装板、下视觉相机和下光源,所述上相机安装板与U轴滑块固定连接,所述上视觉相机和上光源固定安装在上相机安装板的外侧,所述下相机安装板固定安装在机架底板上;MEMS摩阻传感器自动封装设备能够有效提高MEMS摩阻传感器组装、封装的一致性和精度,进而提升高超声速风洞模型表面摩阻测量试验的精准度。
搜索关键词: 一种 基于 视觉 定位 技术 mems 传感器 自动 封装 设备
【主权项】:
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