[发明专利]一种硬质合金基体及其表面的预处理方法有效
| 申请号： | 202110010977.1 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112831749B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王磊;范舒瑜;苏一凡;许伟;黄淑琪;汪唯;林松盛;代明江 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/50;C22C29/08 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硬质合金基体及其表面的预处理方法，涉及材料表面预处理技术领域。本申请提供的一种硬质合金基体表面的预处理方法，硬质合金基体用于沉积金刚石涂层，硬质合金基体的材质包括WC和Co，WC的溅射产额低于Co的溅射产额；预处理方法包括对硬质合金基体进行电弧增强型辉光放电等离子体刻蚀处理以优先刻蚀Co。本申请中通过先刻蚀溅射产额较高的Co元素，Co优先被去除并形成凹坑，避免Co元素催化后续金刚石涂层沉积中C元素的石墨化，同时被AEGD刻蚀后的硬质合金基体表面的微观不平整还能增加基体与种晶的纳米金刚石粉的咬合强度，并提升涂层与基体的接触面积，引起铆接效应，提升膜基附着性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬质合金 基体 及其 表面 预处理 方法 | ||
【主权项】：
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