[发明专利]一种柔性透明太阳能水解光电极及其制备方法有效
申请号: | 202110008027.5 | 申请日: | 2021-01-05 |
公开(公告)号: | CN112853266B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 刘守法;张丽娟;肖传军 | 申请(专利权)人: | 西京学院 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/28;C25B1/04;C25B1/55;C25B11/053;C25B11/091;C25B11/067 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 刘妮 |
地址: | 710100 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性透明太阳能水解光电极及其制备方法,该制备方法包含:(1)以氧化锌作为靶材,以白云母作为基板,采用磁控溅射法在基板上制备氧化锌缓冲层;(2)将镀有氧化锌缓冲层的基板在真空环境下热至400℃,并通入1:1的氩气和氧气的混合气体,以50W的功率预镀,然后以氧化铟锡为靶材采用磁控溅射法在基板上制备氧化铟锡层;(3)以钛酸锶为靶材,利用脉冲激光沉积法在基板上制备钛酸锶薄膜。本发明的方法制备的光电极在可见光范围内透光率为60~80%,而且柔性很好。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 透明 太阳能 水解 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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