[其他]真空室模块和包括真空室模块的装置有效
| 申请号： | 202090000477.9 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN216950907U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | A·科贝特;R·霍尔勒 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹龙辉;张一舟 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种真空室模块和包括真空室模块的装置。真空室模块包括：泵壁，所述泵壁限定成形为接纳多级真空泵的凹部；多个真空室，每个真空室构造成由所述多级真空泵的相应级抽吸，每个真空室至少部分地由所述泵壁的一部分限定，每个真空室具有位于所述泵壁上的不同周向位置处的抽吸端口，以用于与所述多级真空泵的相应级流体连通。这样，提供了一种模块，其与至少部分地容纳在否则由真空室占据的空间内的多级泵以及与位于泵壁周围的真空室共用部件，这提供了更简单且更紧凑的布置。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 模块 包括 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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