[其他]真空室模块和包括真空室模块的装置有效
| 申请号： | 202090000477.9 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN216950907U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | A·科贝特;R·霍尔勒 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹龙辉;张一舟 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 模块 包括 装置 | ||
1.一种真空室模块，其特征在于，所述真空室模块包括：
泵壁，所述泵壁限定成形为接纳多级真空泵的凹部；
多个真空室，每个真空室被构造成由所述多级真空泵的相应级抽吸，每个真空室至少部分地由所述泵壁的一部分限定，每个真空室具有位于所述泵壁上的不同周向位置处的抽吸端口，以用于与所述多级真空泵的所述相应级流体连通。
2.根据权利要求1所述的真空室模块，其特征在于，所述抽吸端口沿所述泵壁周向地延伸。
3.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述抽吸端口定位成沿所述泵壁周向不重叠。
4.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述抽吸端口沿所述多级真空泵的纵向轴线位于不同位置处。
5.根据权利要求4所述的真空室模块，其特征在于，所述真空室沿着所述纵向轴线的公共部分延伸。
6.根据权利要求5所述的真空室模块，其特征在于，相邻的真空室共用沿所述纵向轴线的所述公共部分延伸的公共分隔壁。
7.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述泵壁限定一泵室，该泵室被成形为接纳所述多级真空泵。
8.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述泵壁围绕所述多级真空泵。
9.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述泵壁为柱形。
10.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述真空室具有从所述泵壁径向延伸的一对真空室壁。
11.根据权利要求10所述的真空室模块，其特征在于，所述真空室包括接合壁，所述接合壁周向地延伸并且接合所述一对真空室壁。
12.根据权利要求7所述的真空室模块，其特征在于，所述真空室从所述泵室径向延伸并围绕所述泵室周向地定位。
13.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述真空室包括室间孔口，所述室间孔口被构造成用于在所述真空室之间流体连通。
14.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述泵壁限定一凹部，所述凹部被成形成接纳至少一个另外的真空泵。
15.根据权利要求14所述的真空室模块，其特征在于，每个真空室具有至少一个抽吸端口，所述抽吸端口位于所述泵壁上以用于与所述多级真空泵和所述至少一个另外的真空泵中的至少一者流体连通。
16.一种包括真空室模块的装置，其特征在于，所述真空室模块是根据权利要求1至15中任一项所述的真空室模块；并且所述装置还包括多级真空泵。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱德华兹有限公司，未经爱德华兹有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202090000477.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电子组件及电子设备
- 下一篇：用于半导体计量或检测系统的阻尼器
