[发明专利]粘合片在审

专利信息
申请号: 202080088639.3 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN114846100A 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 上野周作;平山高正 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: C09J7/29 分类号: C09J7/29;B32B27/00;B32B27/18;B32B27/30;C09J5/00;C09J201/00;H01L21/301;C09J7/38
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种粘合片,其可良好地暂时固定小型电子部件(例如,尺寸为100μm□以下的芯片)且能够良好地剥离。本发明的粘合片包含气体产生层与配置于气体产生层的至少单侧的气体阻隔层,该气体阻隔层为通过对该粘合片的激光照射而发生变形的层,该气体阻隔层的高弹性部分的厚度(μm)为利用下述式(1)算出的值以下,且该气体阻隔层的高弹性部分的厚度(μm)为利用下述式(2)算出的值以上;Er为气体阻隔层的高弹性部分的25℃下的利用纳米压痕法得到的弹性模量(MPa)。12546×EXP(‑0.728×log10(Er×106))···(1) 18096×EXP(‑0.949×log10(Er×106))···(2)。
搜索关键词: 粘合
【主权项】:
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